エレクトロニクス分野 |
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半導体や液晶パネルの製造に欠かせない超純水中の溶存酸素（DO）の測定や、用途に応じて窒素（N2）や水素（H2）、オゾン（O3）等を付加した機能水の管理の為に、正確に連続測定を行う必要が有ります。 また、極微量(0.05ppb以下)のTOC測定や、微粒子測定(0.1μm)の為のパーティクルカウンター、微量シリカ測定（測定下限0.5ppb）もご用意しています。
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| ◆ 溶存ガス分析計 | ||
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・超純水中の微量に残存する酸素（O2）、オゾン（O3）、窒素（N2）、水素（H2）、二酸化炭素（CO2） ・使用環境に応じて、卓上型（デスクトップ）、壁掛け型（ウォールマウント）、プロセス組み込み型 実績を持ったハックウルトラの誇るECセンサーや、世界で唯一の窒素、炭酸ガスの連続測定が 可能なTCセンサー、メンテナンスの手間やコストを大幅に低減できる新世代の光学式（蛍光式） 酸素（DO）センサーと豊富なラインナップの中から用途に適したセンサーを提供いたします。 |
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| ◆ 有機炭素計（TOC計） | ||
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・CMP工程の最終洗浄に使用される超純水中の微量な有機炭素（TOC）を0.001ppbの高分解能で0.02ppbの測定下限値まで測定可能です。 ・使用環境に応じて、卓上型（デスクトップ）、壁掛け型（ウォールマウント）、プロセス組み込み型 ・試薬やキャリアガスを使用せず、ストップフロー方式と独自のアルゴリズムによる完全酸化の判定プロセスによって、安定して正確なTOC測定を行います。
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◆ 微粒子計（パーティクルカウンター） |
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・超純水中の0. 1μmの微粒子を高精度で測定できます。 ・高圧、大流量のサンプルにも対応し、素早いレスポンスで測定。 ・窒素ガスの供給が不要で小型軽量（コンパクト）な為、持ち運びも容易。 |
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機能水中の溶存窒素と溶存酸素の同時連続測定のモデル図 |
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システムの構成
②窒素センサー(型式：M-31560)
④センサーケーブル(型式：M-32505,03)
⑤フローチャンバー(型式：M-32001,011V)
⑥左図には記載がありませんが、酸素計メンテキット（リチャージキット 型式：M-32703A）が付属します。 |
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| 機能水中の溶存窒素と溶存酸素の同時連続測定のモデル図です。 溶存窒素を連続リアルタイムモニタリングできる装置はハック・ウルトラだけが提供しています。 ０． １ｐｐｂまでの高感度、高精度で溶存酸素濃度を測定できるのもハック・ウルトラだけです。 アフターサービス体制も万全で、安心して連続リアルタイムモニタリングができます。 |
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エレクトロニクス分野で活用されているハック・ウルトラ製品 |
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| ・モデル 410 溶存酸素/オゾンアナライザー ・モデル 510/511 マルチチャンネルアナライザー ・モデル 31xxx 窒素、水素、炭酸ガスセンサー ・パーティクルカウンター ・モデル 9210 シリカアナライザー ・その他溶存ガスアナライザー |
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エレクトロニクス分野専用微粒子計 |
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