ANATEL Ultrapure-100

Ultrapure-100微粒子モニターは超純水中の微粒子モニターとして0.1μmの微粒子を測定することができ、超純水中の微粒子測定を高精度で行うことができます。
窒素の供給は不要(但し結露のないこと)です。

Ultrapure-100微粒子モニターは測定精度を向上させるため次の特徴があります。

洗浄プロセスでは洗浄効率を上げるため高圧・大流量で洗浄がおこなわれます。高圧・大流量中の微粒子測定でも測定機内部での精密な流量制御により正確に微粒子を測定することが可能です。
光学系方式は90°側方散乱方式と前方散乱方式を併用することで高精度な測定をしています。
アナログ出力、シリアル（RS232）入出力といったI/Oを標準で備えています。
Ultrapure-100微粒子モニターは各工場で使用されている工場監視システム(FMS)、工場管理システム(BMS)といった既存の管理・監視システムにも容易に導入することが可能です。
ユーティリティソフトウェアによって、チャンネル数、サンプリング間隔、アナログ出力設定などの各種パラメーター設定を簡単に行うことが可能です。各種パラメーター及び測定データは完全に保持されます。
校正はNISTによるトレーサビリティーが完全に取れている標準粒子を使用しています。

１．性能

粒径区分	2チャンネル；0.1μm、0.2μm ４チャンネル；0.1μm、0.2μm、0.5μm、1.0μm
感度レンジ	0.1～0.5μm @100mL/min
最大個数濃度	100,000 count/mL(光学的コインシデンス：10%)
データ表示	2チャンネルまたは4チャンネルで設定可能
ステータス表示	電源、レーザー出力不良、水漏れリーク状態(LED表示)
光学系方式	90°側方散乱(0.1μm～0.4μm)と前方散乱(0.4μm～5.0μm)併用
光　　　　　源	150mW(標準)近赤外線(837nm)レーザーダイオード
I/Oコネクション	4-20mAアナログ出力（標準2チャンネル、オプション4チャンネル RS-232シリアル入出力（セットアップ時）

２．サンプル水

３．ユーティリティ

電　　　　源	90～260VAC、50/60Hz
消費電力	最大80VA （0.8A 100V使用時）
キャリアガス	不要（但し水温と外気温度の差が10℃以上の場合は窒素ガスパージが必要）

４．物理的特性

〔パソコンの使用環境〕
1.OS:Microsoft Windows 2000,XP,98SE
2.CPU:Pentium 200MHz以上
3.RAM:64MB以上
4.HDD:20MBの空き容量
5.接続：RS232Cシリアルポート